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Prozessor-Zukunft  

Superchip verspricht Leistungs-Sprung

05.12.2007, 12:37 Uhr | Christoph Schmidt mit Material der dpa

Deutsche Forscher haben einen Hochleistungschip entwickelt, der die Computer-Leistung um ein vielfaches erhöht. Durch optische Verfahren erhöhten sie die Dichte, mit der einzelne Elemente auf einen Chip gesetzt werden können, um den Faktor Zehn. Nun erhielt die Erfindung eine erste Anerkennung: Sie ist für den Deutschen Zukunftspreis des Bundespräsidenten nominiert.

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Optische Verfahren ermöglichen Superchips

Der Superchip der Carl Zeiss SMT AG wurde mit Hilfe von weicher Röntgenstrahlung, Spiegeln und Hochvakuum entwickelt. "Der Schlüssel zur Chipherstellung liegt in der optischen Lithographie", sagt Projektsprecher Peter Kürz. Das ganze ähnelt ein bisschen einer Diaprojektion: Die Strukturen des Chips werden auf einer Maske vorgezeichnet und auf eine mit Fotolack beschichtete Siliziumscheibe (Wafer) projiziert wird. Durch ein ausgeklügeltes Verfahren werden diese Strukturen im Wafer erzeugt und es entsteht ein ein Mikroprozessor oder Speicherchip.

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Winzige Strukturen für die Chip-Zukunft

Aktuell genutzte optische Systeme werden laut Kürz bald ausgedient haben. Hier setzen die Froscher mit ihrem Lithographie-Verfahren an, die wesentlich feinere Strukturen abbilden kann. Das Problem ist allerdings, dass es kein für die eingesetzte ultraviolette Strahlung (EUV) transparentes Linsenmaterial gibt.

Forscher nutzen unvorstellbar glatte Oberflächen

Die Lösung liegt daher laut Kürz in winzigen, komplexen Spiegeln, die aufgrund der hohen Anforderungen eine unvorstellbar glatte Oberfläche haben müssen. Zum Vergleich: Wenn der Spiegel so groß wie Deutschland wäre, dürfte er auf der Strecke Flensburg-München nur eine Unebenheit von maximal 1,5 Millimetern haben, beschreibt der Zeiss-Sprecher. Kürz ist überzeugt: Diese Entwicklung ermöglicht noch leistungsfähigere Chips zu niedrigen Produktionskosten herzustellen.

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